Filmetrics Inc. ha creato una 'Guida TMO' per rendere facilmente comprensibile la tecnologia di
funzionamento dei propri sistemi nei confronti dei film sottili. Lo scopo di questa guida,
in particolare, è quello di spiegare la fisica della riflettività spettrale.
Dopo una breve introduzione concernente la tecnologia dei film sottili la 'guida TMO'
entra nei dettagli della complessità della riflettività spettrale sia per i film a singolo
che multi strato, approfondendo anche le interazioni della misurazione dello spessore con le costanti ottiche.
L'ultima sezione invece compara la riflettività spettrale con l'Ellissometria.
Per richiedere una copia della Guida TMO potete fare richiesta al
MODULO ONLINE
Cosa si può misurare con gli strumenti della Filmetrics Inc. ?
Materiali:tutti i film almeno parzialmente trasparenti, tutti i semiconduttori (trasparenti o meno).
Il film deve apparire, anche tenuamente, riflettente.
Range di spessore:possiamo misurare spessori da 1 nm ad 1 mm.
L'indice di rifrazione può misurare spessori da 70 nanometri a 10 micron.
Numero di strati:tipicamente possono essere misurati 3 singoli film in un multistrato.
In particolare circostanze possono essere misurate decine di strati.
Substrati di materiali:se il film è piuttosto impuro (include parecchi metalli)
generalmente l'indice di rifrazione del film stesso non può essere misurato.
Inoltre lo spessore minimo misurabile diviene 50 nanometri.
Informazioni necessarie:per poter capire se gli strumenti proposti
siano di interesse o meno per il campione dobbiamo sapere: ordine, identità e spessore ipotizzato del film.
|
 |
