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Riflettometri: Misura di spessore di film sottili

 

Tecnologia



Filmetrics Inc. ha creato una 'Guida TMO' per rendere facilmente comprensibile la tecnologia di funzionamento dei propri sistemi nei confronti dei film sottili. Lo scopo di questa guida, in particolare, è quello di spiegare la fisica della riflettività spettrale. Dopo una breve introduzione concernente la tecnologia dei film sottili la 'guida TMO' entra nei dettagli della complessità della riflettività spettrale sia per i film a singolo che multi strato, approfondendo anche le interazioni della misurazione dello spessore con le costanti ottiche. L'ultima sezione invece compara la riflettività spettrale con l'Ellissometria. Per richiedere una copia della Guida TMO potete fare richiesta al MODULO ONLINE


Cosa si può misurare con gli strumenti della Filmetrics Inc. ?

  • Materiali:
    tutti i film almeno parzialmente trasparenti, tutti i semiconduttori (trasparenti o meno). Il film deve apparire, anche tenuamente, riflettente.
  • Range di spessore:
    possiamo misurare spessori da 1 nm ad 1 mm. L'indice di rifrazione può misurare spessori da 70 nanometri a 10 micron.
  • Numero di strati:
    tipicamente possono essere misurati 3 singoli film in un multistrato. In particolare circostanze possono essere misurate decine di strati.
  • Substrati di materiali:
    se il film è piuttosto impuro (include parecchi metalli) generalmente l'indice di rifrazione del film stesso non può essere misurato. Inoltre lo spessore minimo misurabile diviene 50 nanometri.
  • Informazioni necessarie:
    per poter capire se gli strumenti proposti siano di interesse o meno per il campione dobbiamo sapere: ordine, identità e spessore ipotizzato del film.

 

Riflettometro a basso costo per applicazioni specifiche

Thin Film Measurement Device
F10-AR Misura la riflettività di lenti oftalmiche e superfici curve. Sono disponibili opzioni per la misura di spessore e trasmissione di hardcoat.
F10-HC Misura lo spessore e l'indice di rifrazione di hadcoat e starti "anti-fog". Utilizzo in automotive e produzione di hardcoat policarbonati.
F10-PA Misurazione automatizzata di spessore di parilene.
F10-VC Misura contemporaneamente riflettività e trasmittività. Sono disponibili opzioni per la misura dello spessore e dell'indice di rifrazione. Utilizzo comune per cotaing in vuoto.

 

Riflettometro General purpose con piene capacità di analisi

Thin Film Thickness Measurement Tool
F20 Utilizzato in migliaia di applicazioni in tutto il mondo. Disponibili molti accessori e coperture spettrali.
F20-XT Ottimizzato per misurazione dello spessore dei film sottili. In alcuni casi misura fino ad 1 millimetro. Popolare in applicazioni dove è presente il Silicio.

 

Riflettometro per il monitoraggio in tempo reale




F30 Monitorizza riflettività, spessore e velocità di deposizione durante processi MOC VD e di sputtering.
F37 Strumento per la misura in linea del film sottile con la possibilità di monitorare fino a 7 sonde.

 

Riflettometro interfacciabile a microscopi ottici


F40 Rende possibile la misura di spessore ed indice di rifrazione su dimensioni fino a 2,5 micron.
F42 Sistema completo per il micro monitoraggio in 2 dimensioni.

 

Riflettometro avanzato per mappatura di superfici sconnesse


F50 Aggiunge capacità di monitoraggio automatico alla nostra famiglia di prodotti F20. Spessore ed indice possono essere monitorati fino a due punti al secondo.
F50-
XY-450
Utilizzato per monitoraggio ove il campione ha un diametro maggiore di 300 millimetri.
F60-t Sistema per il settore di Produzione che include a bordo: reference, notch finding, interlocked cover, e molto altro.

 

Riflettometro avanzato per mappatura di semiconduttori

F80-t Sistema da Produzione per il monitoraggio di "patterned-wafer" con capacità di misura di15 punti in 21 secondi.
F80-c Evoluzione del F80-t con possibilità di monitoraggio fino a 300 wafer.
F80-a Monitoraggio fino a 300 wafer con integrazione del tool di trasferimento wafer.

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